ZnO透明導電玻璃(Zinc Oxide)
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ZnO透明導電玻璃(Zinc Oxide)
ZnO以氧化鋅為母材的透明導電膜材料,因Zn蘊藏豐富而廉價,同時無毒性、比ITO容易蝕刻而廣受期待。但純ZnO的電阻過高,同時當環境溫度高於150℃以上其電性的穩定度不佳。為了得到低電阻,可摻雜微量元素如In、Al、B、Ga、Ti、Zr、Hf等,而其中添加Al可同時提高ZnO的熱穩定性至500℃以上。一般將摻雜鋁的ZnO簡稱為AZO,而摻雜Ga2O3的ZnO簡稱為GZO。ZnO薄膜的光學能隙約為3.2eV[30],於可見光380~780nm的可見光波長範圍內具有良好的光穿透率。近十幾年來,ZnO已成為TCO薄膜的熱門研究材料,被期待成為平板顯示器中ITO薄膜的替代材料。在ZnO中摻雜入Al原子的ZnO:Al薄膜,具有陡峭的紫外光區切斷(Cut off)、高度紅外光區反射,和高度的可見光區透光性,使得此種具低電阻率與優異光學特性的半導體透明導電薄膜已逐漸受到廣泛的重視和研究。

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